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ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本低溫區(qū)域均熱化（LR系列）在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。氦氣密封通過搭載屏蔽電動機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。瞬停對策采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。出色的耐腐蝕性
產(chǎn)品型號：LR180/LR421-T廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-04-26訪 問 量：436
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| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 價格區(qū)間 | 2萬-3萬 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 真空泵 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),建材,綜合 |
| 供貨號 | 137.1702.5688 |
ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本
ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本
低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計算機(jī)通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。
成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）
| 型號 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| 到達(dá)壓力 | 5.0 Pa | |||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 | |||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1~ 大氣壓 Pa | |||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排氣口 | KF40 | VG50 | ||||
| 質(zhì)量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 電源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
產(chǎn)品分類
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