真空法蘭是真空設(shè)備中使用的法蘭。

法蘭是用于壓力容器的圓形或方形板狀零件。該部件用于連接其他設(shè)備或附加觀察窗，同時(shí)保持容器的氣密性。其中真空法蘭用于在設(shè)備內(nèi)部創(chuàng)造真空環(huán)境。

外周設(shè)有螺紋孔和凹槽，法蘭用螺栓和螺母緊固在一起。出于密封目的，通常使用墊圈或填料來密封產(chǎn)品。標(biāo)準(zhǔn)有NW、KF、JIS等多種。

真空法蘭的應(yīng)用

真空法蘭廣泛應(yīng)用于需要真空設(shè)備的各個(gè)行業(yè)。下面是它的用途。

1、半導(dǎo)體行業(yè)

在半導(dǎo)體行業(yè)中，真空環(huán)境對于晶圓制造過程至關(guān)重要。通過在真空下進(jìn)行蒸發(fā)和蝕刻等工藝，可以制造高質(zhì)量的半導(dǎo)體器件。真空法蘭用于保證真空室氣密，防止雜質(zhì)進(jìn)入，同時(shí)保證氣體和反應(yīng)物的引入。

2、光學(xué)設(shè)備行業(yè)

在光學(xué)設(shè)備行業(yè)，真空環(huán)境用于光學(xué)元件（例如透鏡和鏡子）的鍍膜工藝。通過在真空環(huán)境下進(jìn)行鍍膜，可以涂覆高精度且厚度均勻的薄膜，從而提高光學(xué)性能。真空法蘭對于確保涂層材料沉積過程中真空室內(nèi)的氣密性并防止雜質(zhì)污染非常重要。

3、發(fā)電業(yè)務(wù)

用于發(fā)電的蒸汽輪機(jī)使用一種稱為冷凝器的裝置將蒸汽轉(zhuǎn)化為純水。在冷凝器內(nèi)，蒸汽被冷卻并返回純水，在內(nèi)部形成真空。真空法蘭是維持冷凝器連接點(diǎn)真空條件的重要部件。

4、材料研發(fā)

在研發(fā)領(lǐng)域，真空設(shè)備用于合成新材料和研究物理性質(zhì)。特別是物理、化學(xué)實(shí)驗(yàn)往往需要在真空下進(jìn)行反應(yīng)和樣品分析，必須在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的同時(shí)防止外界空氣和雜質(zhì)的侵入。這使得能夠使用更高純度的樣品進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，從而加速科學(xué)發(fā)現(xiàn)和技術(shù)創(chuàng)新。

真空法蘭原理

真空法蘭用于確保真空系統(tǒng)的氣密性。用于連接兩個(gè)或多個(gè)管道、管子等的機(jī)械連接零件。它對于防止雜質(zhì)和空氣從外部進(jìn)入同時(shí)保持內(nèi)部真空狀態(tài)起著重要作用。

真空法蘭通過在法蘭連接處使用墊片、填料等密封材料來保證氣密性。這是一種將密封材料夾在法蘭的接觸面之間并通過螺栓和螺母緊固來壓縮的機(jī)構(gòu)。這甚至可以關(guān)閉最小的間隙并防止氣體從外部泄漏。

真空法蘭常采用SUS316L、SUS304等不銹鋼材料。使用鎳合金（例如鉻鎳鐵合金）也可以提高耐腐蝕性。采用聚四氟乙烯填料和銅墊片作為密封劑以保證氣密性。

真空法蘭的類型

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的不同，真空法蘭有多種類型。以下是這些類型的一些示例。

1.KF/NW法蘭

也稱為 KF (Klein Flansche) 法蘭或 NW (Normschliff) 法蘭，廣泛應(yīng)用于中真空至高真空范圍。它采用模塊化設(shè)計(jì)，使用密封材料和卡箍實(shí)現(xiàn)氣密連接。易于安裝和拆卸，非常適合經(jīng)常更改配置的設(shè)備。

2.CF法蘭

CF（Conflat Flang）法蘭專為超高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并使用銅或不銹鋼制成的金屬墊片進(jìn)行連接。它可以實(shí)現(xiàn)非常高的氣密性和真空度，并且能夠抵抗熱循環(huán)和化學(xué)腐蝕。

3、美標(biāo)法蘭

ANSI（美國國家標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會(huì)）法蘭是主要用于低真空應(yīng)用的美國標(biāo)準(zhǔn)。它也用于一般管道系統(tǒng)，通常使用螺栓和螺母連接。

4、JIS法蘭

JIS是定義日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)，為許多工業(yè)產(chǎn)品和技術(shù)制定標(biāo)準(zhǔn)。真空法蘭還有JIS標(biāo)準(zhǔn)，主要適用于日本制造的真空設(shè)備。使用螺栓和螺母進(jìn)行緊固是很常見的。